X射線熒光光譜儀是元素分析的主要儀器之一，在元素分析中具有制樣簡單、無損、快速、不破壞樣品、可以多元素同時分析等優(yōu)點。X射線熒光光譜儀就是這樣一種分析儀器，目前市場上使用比較多的兩種型號是能量色散型和波長色散型的X射線熒光光譜儀。但這種傳統(tǒng)的儀器有時候靈敏度不夠高，無法滿足微量或痕量應用領域的檢測需求，因此這制約了它的發(fā)展。

　　X射線熒光光譜儀采用兩種分光技術，一是通過分光晶體對不同波長的X-熒光進行衍射而達到分光目的，然后用探測器探測不同波長處X-熒光強度，這項技術稱為波長色散光譜。另一項技術是首先使用探測器接收所有不同能量的X-熒光，通過探測器轉(zhuǎn)變成電脈沖信號，經(jīng)前置放大后，用多道脈沖高度分析器進行信號處理，得到不同能量X-熒光的強度分布譜圖，即能量色散光譜，簡稱X-熒光能譜。

　　X射線熒光光譜儀較常見的故障，一般發(fā)生在開機時，偶爾也發(fā)生在儀器運行中。故障的產(chǎn)生原因可以從三個方面去分析：1、X射線防護系統(tǒng);2、內(nèi)部水循環(huán)冷卻系統(tǒng);3、高壓發(fā)生器及X射線光管。
 

　　一、X射線防護系統(tǒng)

　　為了防止X射線泄漏，高壓發(fā)生器只有在射線防護系統(tǒng)正常的情況下才能啟動。射線防護系統(tǒng)正常與否，主要檢查以下二部分：

　　1、面板的位置是否正常。是一個封閉系統(tǒng)，面板是外層的射線防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒有*合上，高壓開不起來。

　　2、X射線的警示標志是否正常。國家標準[1]規(guī)定，必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開關聯(lián)動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。

　　有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統(tǒng)引起，即將儀器的狀態(tài)設定為維修狀態(tài)，屏蔽射線防護系統(tǒng)，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統(tǒng)的問題引起的。

　　二、內(nèi)部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)

　　高壓發(fā)生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小部分用于產(chǎn)生X射線外，大部分轉(zhuǎn)化為熱能，由內(nèi)部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)帶走。內(nèi)循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)循環(huán)水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內(nèi)循環(huán)水通過儀器內(nèi)部的去離子樹脂柱降低電導率，去離子樹脂柱中的樹脂會年久失效，因此高壓無法啟動時，可檢查一下內(nèi)循環(huán)水的電導率，如果電導率降不下去，考慮更換樹脂。另外，內(nèi)循環(huán)水的水位過低，也會導致高壓開不起來。

　　還有一種故障現(xiàn)象是高壓開起來幾分鐘后跳掉，無損檢測資源網(wǎng)產(chǎn)生這種故障的原因可能為內(nèi)循環(huán)水的流量過小。內(nèi)循環(huán)水的流量通過流量計測量，水流過流量計時，帶動流量計內(nèi)的葉輪，葉輪切割磁力線，產(chǎn)生電信號。葉輪在水中長期轉(zhuǎn)動，可能會銹蝕，從而使葉輪的轉(zhuǎn)速減慢，流量計的電信號減弱，使儀器誤認為水流量過小而導致高壓跳掉。另外內(nèi)循環(huán)水的過濾網(wǎng)堵塞導致水流量減小，也會引起高壓跳掉。

　　三、高壓發(fā)生器及X射線光管本身

　　高壓發(fā)生器和X射線光管是儀器內(nèi)貴重的部件，一般不會出問題。檢查高壓發(fā)生器，可將高壓發(fā)生器打開，根據(jù)電路圖，檢查各個開關是否在正常位置，看一下保險絲有沒有熔斷，再進一步的檢查*由專業(yè)維修工程師來做。X射線光管是個封閉的部件，一旦損壞，只能更換，不能修理。檢查X射線光管，可檢查X射線光管與高壓電纜的連接是否正常，高壓電纜有無損壞。

　　故障現(xiàn)象二

　　光譜室和樣品室的真空抽不到規(guī)定值。

　　故障分析：

　　X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時，將可能出問題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三部分逐一檢查以縮小范圍。